수치해석에 의한 글로우 및 코로나 방전의 property(특성)에 대한 연구
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작성일 24-07-07 15:59
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본 논문은 총 6 장으로 구성되어 있으며 비평형 플라즈마에 대한 해석모델과 수치해석 기법에 대해 서술하고, 각 응용 분야에 대한 수치해석 결과를 제시하였다. 제 6 장에서는 결론을 서술하였다.
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수치해석에 의한 글로우 및 코로나 방전의 property(특성)에 대한 연구
본 논문은 총 6 장으로 구성되어 있으며 비평형 플라즈마에 대한 해석모델과 수치해석 기법에 대해 서술하고, 각 응용 분야에 대한 수치해석 결과를 제시하였다. 제 3 장은 반도체 식각장치에 사용되는 저압 유도결합 플라즈마에 대한 해석 방법 및 결과를 서술하였다. 제 3 장은 반도체 식각장치에 사용되는 저압 유도결합 플라즈마에 대한 해석 방법 및 결과를 서술하였다. 제 4 장은 상압 비평형 플라즈마인 코로나 방전에서의 화학reaction 을 0 차원 모델로 해석하는 기법과 해석 결과를 서술하였다. Sa는 전자 또는 광자와 기체입자와의 충돌, 재결합, 화학반응 등을 포함하여 모든 입자의 생성 및 소멸 반응을 나타내는 항이다. 제 2 장은 비평형 플라즈마 해석에 필요한 연속방정식과 화학반응식에 대해 서술하였고 수치해석 기법을 소개하였다. 제 6 장에서는 結論(결론)을 서술하였다.
2.1 플라즈마 해석식
2.1.1 플라즈마 유체 해석식
플라즈마 유체 해석식은 식(2-1,2)와 같이 기본적으로 각 입자의 연속 방정식(continuity equation)과 Poisson 방정식으로 구성되어 있따 첨자 a는 전자, 양이온, 음이온들을 나타내며 na는 입자의 밀도, va는 입자의 속도이다.
플라즈마 수치해석은 몬테칼로, PIC(Particle In Cell)과 같이 전자장 내에서 각 입자들의 운동방정식을 계산하여 구하는 방법과 유체식을 해석하는 방법으로 나눌 수 있따 몬테칼로와 PIC는 계산 양이 방대하여 최근의 계산속도 향상에도 불구하고 제한적으로 사용되고 있따 유체식을 사용하는 방법은 상대적으로 계산 양이 적어 다양한 해석에 사용되고 있따 특히 대기압에서 발생하는 코로나 방전의 경우 하전입자와 중성기체 간의 충돌주파수가 너무 높아 몬테칼로와 PIC는 아직 사용되지 않고 있따 본 장에서는 플라즈마 해석에 사용되는 유체 해석식과 화학반응식을 introduction하고 각 식들의 수치해석기법을 논의하고자 한다. 식(2-1)의 va와 Sa를 구하는…(투비컨티뉴드 )
레포트/공학기술
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설명
다. 제 4 장은 상압 비평형 플라즈마인 코로나 방전에서의 화학반응을 0 차원 모델로 해석하는 기법과 해석 결과를 서술하였다. 제 5장은 2차원 축대칭 모델을 이용한 코로나 방전 초기의 래디칼 생성 property(특성)에 대해 서술하였다. 제 5장은 2차원 축대칭 모델을 이용한 코로나 방전 초기의 래디칼 생성 특성에 대해 서술하였다. 제 2 장은 비평형 플라즈마 해석에 필요한 연속방정식과 화학reaction 식에 대해 서술하였고 수치해석 기법을 intro 하였다.
